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废气处理案例

无锡某半导体电子厂废气处理工程

发布时间:2021-06-01 14:58:46 人气:

    无锡该半导体电子厂专业从事半导体芯片的研发、产销和服务,主要生产高反压双极晶体管、外延双极晶体管、外延晶体管、稳压二极管等电子半导体产品。在生产过程的各个环节中产生的废气成分也是复杂多样的,主要有酮类、苯类、醋酸丁酯、醇类、苯乙烯、乙酸乙酯、甲基异丁基甲酮、二氯甲烷、环已酮、甲氢呋喃、三氯乙烯和氯仿等,因此,需要用到的电子厂废气处理工艺也相对比较复杂。

无锡某半导体电子厂废气处理工程(图1)

半导体电子厂废气处理工程现场

  项目名称:无锡某半导体电子厂废气处理项目

  废气种类:酮类、苯类、醋酸丁酯、醇类、苯乙烯、乙酸乙酯、二氯甲烷、三氯乙烯和氯仿等

  废气风量:40000m³/h

  处理工艺:喷淋塔+UV光氧催化+干式过滤+活性炭吸附浓缩+催化燃烧

  工艺简述:喷淋塔用于将废气中的水溶性好的有机废气进行预处理净化;

                  再通过UV光氧催化设备用于将一些废气分子破碎并进一步氧化还原;

                  干式过滤可以捕捉废气中的粉尘,确保废气洁净;

                  活性炭吸附浓缩设备则可以将有机废气成分进行吸附净化;

                  催化燃烧最终将活性炭吸附设备排出的有机废气脱附催化燃烧干净,使活性炭再生重复使用。

  处理结果:达标排放

  项目地址:江苏-无锡-江阴

  工程工期:80天

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